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Forscher entwickeln kostengünstiges Verfahren zur Herstellung von MEMS-Bauteilen

Mikroelektromechanische Systeme (MEMS), wie z. B. Beschleunigungssensoren, werden in vielen Branchen eingesetzt, u. a. in der Automobilindustrie, der Unterhaltungselektronik und der Medizintechnik. MEMS werden...

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